ADCMT愛德萬電子顯微鏡-低損傷電子束

ADCMT愛德萬電子顯微鏡-低損傷電子束

一、品牌定位與關(guān)系

• ADVANTEST（愛德萬測試）：*半導(dǎo)體 ATE（自動測試設(shè)備）大廠，做芯片整機測試系統(tǒng)。

• ADCMT（愛德萬）：旗下精密儀器事業(yè)部，專注臺式 / 系統(tǒng)級直流精密測量儀器，提供 “源 + 測一體化" 模塊，用于研發(fā)驗證、晶圓 / 元器件產(chǎn)線批量測試、校準計量，適合嵌入自動化測試系統(tǒng)。

二、核心自動化測試設(shè)備產(chǎn)品線（主力）

1. 精密源表 SMU（電壓 / 電流源 + 監(jiān)控器，核心主力）

• 6242/6253/6254：5? 位輸出、6? 位測量，±20V/±20A（6254）、±110V/±2A（6253）；雙極性（源 / 吸雙向）、25μs 高速脈沖、可變斜率（防過沖）、四線測量；適合功率半導(dǎo)體、低阻、電源模塊、電池測試。

2. 精密直流電壓 / 電流源（6146/6156/6166、6540/6541）

• 61xx：nV/nA 級分辨率、低噪聲（100μVp-p）、高精度（±0.015%）、長期穩(wěn)定；適合晶圓參數(shù)提取、傳感器校準。

• 6540（無顯示，系統(tǒng)集成款）/6541（臺式帶屏）：多通道、50μs 脈沖、雙極性，產(chǎn)線高密度集成優(yōu)選。

3. 高精度數(shù)字萬用表（7351A/7455/7465）

• 5?~6? 位、高速采樣、多通道、GPIB/USB/LAN，適合自動化數(shù)據(jù)采集、分選測試。

4. 專用測量儀器：微電阻計（8340A，1μΩ 分辨率）、高阻計、光功率計等，補全特殊參數(shù)測試。

三、自動化測試核心能力（ATE 集成關(guān)鍵）

1. 標準通訊接口齊全：標配 USB、GPIB，可選 LAN；支持 SCPI 指令，可對接 PLC、探針臺、分選機、上位機軟件，遠程程控、自動數(shù)據(jù)上傳、判定 PASS/FAIL。

2. 多通道 / 多機同步：內(nèi)部通道同步、外部觸發(fā)同步，多臺并聯(lián) / 級聯(lián)擴展，并行測試提升產(chǎn)線效率、保證一致性。

3. 可編程掃描 / 序列測試：線性 / 對數(shù) / 脈沖掃描、I-V 曲線自動繪制、多步時序編程；可做器件老化、閾值 / 漏電流 / 溫度特性自動測試。

4. 系統(tǒng)集成型設(shè)計：6540 等型號無顯示屏、體積緊湊，適合機柜堆疊、高密度產(chǎn)線部署；帶 HiZ/STBY 輸出狀態(tài)管理，保護 DUT、延長繼電器壽命。

四、核心特點

1. 超高精度 + 極限分辨率：電壓 nV 級、電流 pA/nA 級、6? 位測量，基本精度 ±0.02%，長期穩(wěn)定性好。

2. 極低噪聲、純凈輸出：DC~100Hz 噪聲低至 100μVp-p，適合微弱信號、半導(dǎo)體漏電 / 閾值測試。

3. 雙極性源 / 吸一體：既能供電、又能吸收負載電流，可模擬電池充放電、負載瞬態(tài)，不用額外電子負載。

4. 高速脈沖 + 可變斜率：最小 25μs 窄脈沖，可編程上升 / 下降速率，避免電容負載過沖、防止器件自熱誤差。

5. 四線開爾文測量：消除引線電阻，低阻 / 接觸電阻測量精準。

6. 豐富保護機制：過壓、過流、過溫、反接保護，輸出三態(tài)（STBY/HiZ/LoZ），保護被測件。

7. 全接口自動化友好：USB/GPIB/LAN、SCPI 指令，適配自動化產(chǎn)線、探針臺 / 分選機聯(lián)動。

8. 多機 / 多通道同步：并行測試、時序?qū)R，提升量產(chǎn)效率、保證數(shù)據(jù)一致性。

9. 可編程 I-V 掃描 + 自動判定：自動生成特性曲線、上下限判定、數(shù)據(jù)記錄，適合批量分選 / 老化。

10. 工業(yè)級穩(wěn)定耐用：適合 24 小時連續(xù)產(chǎn)線運行、晶圓 / 元器件 / 功率器件 / 車載 / 醫(yī)療精密場景。

五、典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體：晶圓探針測試、MOSFET/IGBT/SiC 功率器件、二極管 / LED 的 I-V、漏電、閾值測試。

• 元器件：電阻、傳感器、電池、PCB 接觸電阻、低功耗器件功耗測試。

• 產(chǎn)線：自動分選、老化測試、多工位并行測試、計量校準系統(tǒng)。