ADCMT愛(ài)德萬(wàn)電子顯微鏡-精密

ADCMT愛(ài)德萬(wàn)電子顯微鏡-精密

一、品牌定位與關(guān)系

• ADVANTEST（愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試）：*半導(dǎo)體 ATE（自動(dòng)測(cè)試設(shè)備）大廠，做芯片整機(jī)測(cè)試系統(tǒng)。

• ADCMT（愛(ài)德萬(wàn)）：旗下精密儀器事業(yè)部，專注臺(tái)式 / 系統(tǒng)級(jí)直流精密測(cè)量?jī)x器，提供 “源 + 測(cè)一體化" 模塊，用于研發(fā)驗(yàn)證、晶圓 / 元器件產(chǎn)線批量測(cè)試、校準(zhǔn)計(jì)量，適合嵌入自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)。

二、核心自動(dòng)化測(cè)試設(shè)備產(chǎn)品線（主力）

1. 精密源表 SMU（電壓 / 電流源 + 監(jiān)控器，核心主力）

• 6242/6253/6254：5? 位輸出、6? 位測(cè)量，±20V/±20A（6254）、±110V/±2A（6253）；雙極性（源 / 吸雙向）、25μs 高速脈沖、可變斜率（防過(guò)沖）、四線測(cè)量；適合功率半導(dǎo)體、低阻、電源模塊、電池測(cè)試。

2. 精密直流電壓 / 電流源（6146/6156/6166、6540/6541）

• 61xx：nV/nA 級(jí)分辨率、低噪聲（100μVp-p）、高精度（±0.015%）、長(zhǎng)期穩(wěn)定；適合晶圓參數(shù)提取、傳感器校準(zhǔn)。

• 6540（無(wú)顯示，系統(tǒng)集成款）/6541（臺(tái)式帶屏）：多通道、50μs 脈沖、雙極性，產(chǎn)線高密度集成優(yōu)選。

3. 高精度數(shù)字萬(wàn)用表（7351A/7455/7465）

• 5?~6? 位、高速采樣、多通道、GPIB/USB/LAN，適合自動(dòng)化數(shù)據(jù)采集、分選測(cè)試。

4. 專用測(cè)量?jī)x器：微電阻計(jì)（8340A，1μΩ 分辨率）、高阻計(jì)、光功率計(jì)等，補(bǔ)全特殊參數(shù)測(cè)試。

三、自動(dòng)化測(cè)試核心能力（ATE 集成關(guān)鍵）

1. 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口齊全：標(biāo)配 USB、GPIB，可選 LAN；支持 SCPI 指令，可對(duì)接 PLC、探針臺(tái)、分選機(jī)、上位機(jī)軟件，遠(yuǎn)程程控、自動(dòng)數(shù)據(jù)上傳、判定 PASS/FAIL。

2. 多通道 / 多機(jī)同步：內(nèi)部通道同步、外部觸發(fā)同步，多臺(tái)并聯(lián) / 級(jí)聯(lián)擴(kuò)展，并行測(cè)試提升產(chǎn)線效率、保證一致性。

3. 可編程掃描 / 序列測(cè)試：線性 / 對(duì)數(shù) / 脈沖掃描、I-V 曲線自動(dòng)繪制、多步時(shí)序編程；可做器件老化、閾值 / 漏電流 / 溫度特性自動(dòng)測(cè)試。

4. 系統(tǒng)集成型設(shè)計(jì)：6540 等型號(hào)無(wú)顯示屏、體積緊湊，適合機(jī)柜堆疊、高密度產(chǎn)線部署；帶 HiZ/STBY 輸出狀態(tài)管理，保護(hù) DUT、延長(zhǎng)繼電器壽命。

四、核心特點(diǎn)

1. 超高精度 + 極限分辨率：電壓 nV 級(jí)、電流 pA/nA 級(jí)、6? 位測(cè)量，基本精度 ±0.02%，長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。

2. 極低噪聲、純凈輸出：DC~100Hz 噪聲低至 100μVp-p，適合微弱信號(hào)、半導(dǎo)體漏電 / 閾值測(cè)試。

3. 雙極性源 / 吸一體：既能供電、又能吸收負(fù)載電流，可模擬電池充放電、負(fù)載瞬態(tài)，不用額外電子負(fù)載。

4. 高速脈沖 + 可變斜率：最小 25μs 窄脈沖，可編程上升 / 下降速率，避免電容負(fù)載過(guò)沖、防止器件自熱誤差。

5. 四線開(kāi)爾文測(cè)量：消除引線電阻，低阻 / 接觸電阻測(cè)量精準(zhǔn)。

6. 豐富保護(hù)機(jī)制：過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)溫、反接保護(hù)，輸出三態(tài)（STBY/HiZ/LoZ），保護(hù)被測(cè)件。

7. 全接口自動(dòng)化友好：USB/GPIB/LAN、SCPI 指令，適配自動(dòng)化產(chǎn)線、探針臺(tái) / 分選機(jī)聯(lián)動(dòng)。

8. 多機(jī) / 多通道同步：并行測(cè)試、時(shí)序?qū)R，提升量產(chǎn)效率、保證數(shù)據(jù)一致性。

9. 可編程 I-V 掃描 + 自動(dòng)判定：自動(dòng)生成特性曲線、上下限判定、數(shù)據(jù)記錄，適合批量分選 / 老化。

10. 工業(yè)級(jí)穩(wěn)定耐用：適合 24 小時(shí)連續(xù)產(chǎn)線運(yùn)行、晶圓 / 元器件 / 功率器件 / 車(chē)載 / 醫(yī)療精密場(chǎng)景。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• 半導(dǎo)體：晶圓探針測(cè)試、MOSFET/IGBT/SiC 功率器件、二極管 / LED 的 I-V、漏電、閾值測(cè)試。

• 元器件：電阻、傳感器、電池、PCB 接觸電阻、低功耗器件功耗測(cè)試。

• 產(chǎn)線：自動(dòng)分選、老化測(cè)試、多工位并行測(cè)試、計(jì)量校準(zhǔn)系統(tǒng)。