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TORAY日本東麗半導體LCD電子元氧分析儀

TORAY日本東麗半導體LCD電子元氧分析儀
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
傳感器直接插入(NW 法蘭 16/25/40 用于真空)
堅固耐用的傳感器,帶有特殊涂層,更耐用

  • 產品型號:MS-510
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-09-04
  • 訪  問  量:703
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聯系電話:15510016038

詳細介紹

TORAY日本東麗半導體LCD電子元氧分析儀

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血YANG定量計半導體、LCD 和電子元件相關應用用于半導體、電子元件的氧分析儀

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860


血YANG儀 MS-500

MS-500

  • 最多可同時測量 8 個點

  • 可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。

  • 非常適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。

  • 傳感器直接插入(NW 法蘭 16/25/40 用于真空)

  • 堅固耐用的傳感器,帶有特殊涂層,更耐用

MS-500 規格

測量原理氧化鋯陰影電池供電
形狀分體式(換能器:壁掛式、傳感器:直插式)
顯示方式數字 4 位顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機
自動量程
重復性± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高
±1%FS或小于0.1ppm ± 小于
0-1% 范圍 0-1ppm,ATM范圍超出濃度保證范圍
測量點數1~8
樣氣條件壓力10-3~200KPa(絕對壓力)
流量0.5~5,000mL/min或0mL/min(自發擴散狀態的測量)
濕度露點低于環境溫度
溫度0~100°攝氏度
其他不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體大氣層
錄音機輸出僅傳輸輸出
傳輸功率RS-232C接口
報警輸出沒有
預熱時間6分鐘內
大小MS-500 (控制器)92 (W) × 44 (H) × 120 (D) (不包括突起部分)
MS-510 (轉換器)100 (W) × 40 (H) × 88 (D) (不包括突起部分)
傳感器單元SD16NW系列全長:100mm(感應部分Φ11×39、機身部分Φ40×51)
SD25NW系列全長:100mm(感應部分Φ11×42、機身部分Φ40×48)
SD40NW系列全長:100mm(感應部分Φ11×41,機身部分Φ40×49)
質量MS-500 (控制器)約0.6Kg
MS-510 (變壓器)約0.5kg
傳感器單元SD16NW系列約0.2Kg
SD25NW系列約0.2Kg
SD40NW系列約0.35Kg
外部連接任何真空法蘭(NW16、25、40)
使用的電源24VDC±10%

血YANG儀 LC-450A、LC-450D

LC-450A、LC-450D

  • 可以顯示
    從寬濃度范圍內測量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。

  • 提高傳感器耐久性氧
    傳感器經過特殊處理,可提高耐久性。

  • 交流寬電源 AC100~240VAC (LC-450A)
    *LC-450D 是 DC24V 驅動

  • 結構緊湊,易于安裝,
    深度甚至比我們的傳統型號更短,而且不占用太多空間。

  • 符合RoHS指令的產品

  • CE標志自我聲明的物品
    EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003

LC-450A 規格

測量原理氧化鋯陰影電池供電
形狀桌面/面板安裝
顯示方式數字 4 位顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復性±在1%FS0-1ppm以內,大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式內置泵連續抽吸
樣氣條件壓力加壓小于30KPa
流量1,000~2,000毫升/分鐘
濕度露點低于環境溫度
溫度0~50°攝氏度
其他不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體大氣層
錄音機
輸出
氧氣濃度輸出4-20 mA 或 0-20 mA 開關(可選 0-10 V) 隔離、負載電阻 550 Ω以下
記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度成線性關系
輸出范圍0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率RS-232C接口
報警輸出FAIL(設備錯誤)1 分無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因
設備異常導致觸點閉合(觸點操作可更改)
ALM(濃度報警)2 分 (H/L)無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 發生報警時
觸點閉合(觸點操作可更改)
RDY(預熱信號)1 分無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
  • 無電壓觸點的最小開關容量為 12 V 或更高,無法處理小負載。

MRK(范圍標記)輸出2 積分無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
預熱時間5分鐘內
大小物質210 (W) × 134 (H) × 300 (D) mm (不含突起部分)
質量約6kg
氣體
連接端口
入口RC1/4型
旁路輸出RC1/4型
出口RC1/4型
使用的電源100~240VAC, 50VA (穩態: 35VA) 50Hz/60Hz

LC-450D 規格

測量原理氧化鋯陰影電池供電
形狀桌面/面板安裝
顯示方式數字 4 位顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機自動量程
重復性±在1%FS0-1ppm以內,大氣壓范圍超出濃度保證范圍
取樣方式內置泵連續抽吸
樣氣條件壓力加壓小于30KPa
流量1,000~2,000毫升/分鐘
濕度露點低于環境溫度
溫度0~50°攝氏度
其他不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體大氣層
錄音機
輸出
氧氣濃度輸出0-10VDC,隔離,負載電阻600kΩ以上
(可選:4-20mADC,隔離,負載電阻550 Ω以下)
記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度成線性關系
輸出范圍0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍
傳輸功率RS-232C接口
報警輸出FAIL(設備錯誤)1 分無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因
設備異常導致觸點閉合(觸點操作可更改)
ALM(濃度報警)2 分 (L/LL)無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 發生報警時
觸點閉合(觸點操作可更改)
RDY(預熱信號)1 分無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 預熱操作時
觸點閉合(觸點操作可更改)
  • 非電壓觸點的最小開關電容大于 12 V 或 20 mA,無法處理小負載

MRK(范圍標記)輸出2 積分無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
預熱時間5分鐘內
大小物質240 (W) × 134 (H) × 210 (D) mm (不含突起部分)
質量約5kg
氣體
連接端口
入口RC1/8型
旁路輸出RC1/8型
出口RC1/8型
使用的電源24VDC±10%, 1.25A (30VA, 穩態)

血YANG儀LC-860

LC-860

  • 低濃度測量:能夠
    測量從ppb級到100%

  • 易于操作:使用單獨的按鍵即可輕松操作

  • 吹掃功能比較
    氣體進一步穩定,可以進行更精確的測量(僅適用于具有吹掃功能的規格)

  • 高可靠性傳感器:
    傳感器內部也可進行防劣化處理(可選)

LC-860 規格

測量原理氧化鋯陰影電池供電
形狀桌面/面板安裝
顯示方式數字 6 位顯示(密度顯示)
測量范圍0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM
自動/固定范圍
重復性± 氧氣濃度小于
1 ppm和0-1 ppm,大氣壓范圍在1%FS以內均超出濃度保證范圍。
取樣方式內置泵連續抽吸
樣氣條件壓力加壓小于30KPa
流量~1,500毫升/分鐘
濕度露點低于環境溫度
溫度0~50°攝氏度
其他不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。
比較氣體大氣層
錄音機
輸出
氧氣濃度輸出4-20mA/0-10V
4-20mA:隔離、負載電阻 600 Ω以下
0-10V:絕緣,負載電阻 500 Ω以上
記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度呈線性關系
輸出范圍0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個量程自動/固定量程
傳輸功率RS-232C接口
報警輸出FAIL(設備錯誤)1 分無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.1A以下 因
設備異常導致觸點閉合(觸點操作可更改)

ALM(濃度報警)2 積分無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.1A以下 發生報警時
觸點閉合(觸點操作可更改)
RDY(預熱信號)1 分無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.5A以下 預熱操作時
觸點閉合(觸點操作可更改)
  • 無壓觸點的最小開關容量為12V以上,無法處理小負載。

MRK(范圍標記)輸出3分無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.1A以下
預熱時間20分鐘內
大小物質288 (W) × 144 (H) × 400 (D) mm (不包括突起部分)
質量約10kg
氣體
連接端口
入口RC1/8型
旁路輸出RC1/8型
出口RC1/4型
使用的電源100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz







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TORAY日本東麗半導體LCD電子元氧分析儀


北崎優勢:


1、以下三大類前  6  項均為日本原廠授權代理銷售;其它為廠家項目授權代理銷售;

2、未歸類的為我司日本本社向日本原廠直接采購,可提供關單和產地證明。


                  光源類:

1... EYE巖崎——UV燈、照度計 (備庫銷售)

2... SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設備 (備庫銷售)

3... CCS晰寫速——環形光源、面光源、光源箱   (部份光源可提供試樣)

4... REVOX萊寶克斯——光源箱

5... SERIC索萊克——人工太陽照明燈

6... POLARION普拉瑞——強光燈

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7... FUNATECH船越龍——目視檢查燈  (備庫銷售)

8... USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9... ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強光燈

10...YAMADA依夢達——光源 (備庫銷售)


                 儀器儀表類:

1... SANKO山高——膜厚儀、金屬探測儀  

2... TOKI東機產業——粘度計

3... SONIC索尼克——超聲波風速儀、氣體及液體流量計 (備庫銷售)

4... SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對

5... DIT東日技研——靜電消除器、離子風棒

6... SUGIYAMA杉山電機——下死點檢測儀、誤送檢測裝置 (備庫銷售)

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7... IJIMA飯島電子——酸素計、氧氣分析儀、濃度計

8... TORAY東麗——氣體分析儀

9... HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10...TOPCON拓普康——色彩亮度計、輝度計、照度計  (備庫銷售)

11...KYOWA共和——應變儀、應變片、傳感器  (部份備庫銷售)

12...USHIO牛尾——照度計 (備庫銷售)

13...ORC歐阿希——照度計 (備庫銷售)

14...AND愛安德——水分計、天平、粘度計 (備庫銷售)

15...YASKAWA安川——磁性開關 (備庫銷售)

16...RKC——熱電偶、溫控器 (備庫銷售)

17...EXCEL——聽音機 (備庫銷售)


     









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