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日本RION理音KS-41B液體粒子計(jì)數(shù)器

更新時(shí)間:2025-04-08      瀏覽次數(shù):517

光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以在 0.1 μm 范圍內(nèi)測(cè)量

  • 可連接到多點(diǎn)監(jiān)控系統(tǒng)

規(guī)范

光學(xué)系統(tǒng)方式橫向散射法
光源用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器(波長(zhǎng) 532 nm,額定功率 500 mW)
接液部件材料合成石英,PFA
粒度分類0.1 μm ~ 0.5 μm 范圍內(nèi)的 10 個(gè)級(jí)別(可選 0.07 μm,用于純水等透明液體)
運(yùn)輸:0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 5 個(gè) ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平
額定流量5 毫升/分鐘
最大顆粒計(jì)數(shù)濃度9,600 單位/mL(計(jì)數(shù)丟失在 10% 以內(nèi))
權(quán)力DC12 V(由 KE-40B1 供電)
大小約 164 毫米(水平)× 464 毫米(寬)× 305 毫米(深)毫米(不包括突出部分)
重量約 12.5 kg




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