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日本RION理音KS-41B液體粒子計數器

更新時間：2025-04-08      瀏覽次數：562

光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以在 0.1 μm 范圍內測量

  • 可連接到多點監控系統

規范

光學系統方式橫向散射法
光源用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長 532 nm，額定功率 500 mW）
接液部件材料合成石英，PFA
粒度分類0.1 μm ~ 0.5 μm 范圍內的 10 個級別（可選 0.07 μm，用于純水等透明液體）
運輸：0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 5 個 ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平
額定流量5 毫升/分鐘
最大顆粒計數濃度9,600 單位/mL（計數丟失在 10% 以內）
權力DC12 V（由 KE-40B1 供電）
大小約 164 毫米（水平）× 464 毫米（寬）× 305 毫米（深）毫米（不包括突出部分）
重量約 12.5 kg




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